奈米微粒監控系統 助科技業精準測量

量測中心獲得今年工研院菁英獎，透過一套新世代溶液中奈米微粒監控系統，即時監控3奈米以上的微粒，提供高科技產業能夠大幅提升產品良率，增加產業競爭力。

目前現行的監測系統頂多監測到40奈米的微粒，量測中心這次與台積電聯手開發這套系統提升了十多倍的極限，不僅能24小時連續線上監測半導體生產線，更能多方面運用，提供更精準的服務。

工研院集結全台頂尖人才，幫助各個領域產業的發展，也期望帶動產業轉型，透過強大的研發能力幫助台灣走向另一個經濟高峰。

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