鷹眼級量測技術 提升半導體製程良率

由於半導體IC的濕式製程中需要使用特定化學溶液清洗、蝕刻與研磨晶圓表面，化學溶液中的雜質會影響製程良率，現階段利用光學原理來量測化學溶液，極限只能看到20奈米，但SuperSizer創新了量測方法，可量測的粒子範圍達3～1千奈米，遠優於業界水準。

致茂科技董事長黃欽明則是說，SuperSizer的測試結果令他相當佩服，也是讓他想要加以發揚光大的原因。在與工研院聯手創立了兆晟後，目前先以幫助台灣半導體廠提升良率為目標

根據統計半導體製程良率提升1％，獲利將可提升8％，成果驚人。由於良率是先進製程的主戰場，如果可以有效監管並加以控制，對半導體製程良率提升將有很大的貢獻。

 

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