隨著台積電推進至二奈米與A16製程，傳統的銅或鈷導線面臨物理極限，釕(Ru)被視為在二奈米以下製程取代銅或鈷導線的終極救星，因為銅在極細導線中會面臨嚴重的電阻飆升與電遷移問題。
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